样品台
应用4象限BSE探测器可以实现不同成像模式,包括成分模式以及形貌模式。
BSE探测器可以通过收集被不同原子序数的元素反射或散射的电子来帮助确定样品的组成。原子序数较高的元素,即平均“Z"较大的区域,将在样品中显示为较亮的区域。BSE探测器可以用于快速确定样品中的组分数以及它们彼此之间的关系。